多晶硅產品品質為下游企業(yè)認可"青海造"填補國內空白
5月24日,在集成電路硅材料產業(yè)發(fā)展座談會上,國家電投黃河上游水電開發(fā)有限責任公司新能源分公司分別與浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研半導體材料有限公司、麥斯克電子材料有限公司簽署合作協(xié)議,這標志著我省多晶硅產品品質達到國際先進水平,并為廣大下游企業(yè)所認可。
多晶硅材料作為集成電路基礎材料的最前端,生產技術和市場一直被國外壟斷。經(jīng)過多年的努力,黃河水電公司新能源分公司發(fā)展成為國內唯一一家集成電路應用的高純電子級多晶硅生產企業(yè),其產品成功應用于集成電路行業(yè),打破了國內市場長期由國外公司壟斷的格局。2011年以來,黃河新能源分公司電子級多晶硅連續(xù)4年銷售量超過百噸,國內市場占有率達到10% ;2012年,獲得CNAS檢測和校準實驗室資質認可,允許使用CNAS認可標識;2013年成為符合工信部《光伏制造行業(yè)規(guī)范條件》的首批企業(yè);2014年,國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》半導體級多晶硅材料研發(fā)項目申報成功,目前產品質量已經(jīng)達到項目全部要求。經(jīng)第三方權威檢測機構檢測,我省制造的電子級多晶硅產品質量與德國、日本等知名國際企業(yè)多晶硅質量相當。
此外,黃河新能源分公司經(jīng)過近十年的努力,建成了國內第一條電子級多晶硅生產線,并率先在國內建立了一套完整的滿足SEMI標準的電子級多晶硅產品檢測標準、指標體系和檢測質量控制流程,擁有目前國內唯一按照國際半導體材料與設備協(xié)會(SEMI)標準配置的多晶硅檢測實驗室,這為我省進一步延伸產業(yè)鏈,構建單晶硅、硅片及半導體封裝等電子信息產業(yè)奠定了基礎。
更重要的是,這一電子級多晶硅生產線利用了國內首套完整的冷氫化技術,實現(xiàn)了生產中副產物循環(huán)利用,冷氫化四氯化硅轉化率達到國內最高水平,還原爐回收尾氣經(jīng)處理后達到電子級多晶硅生產要求,實現(xiàn)完全閉路循環(huán),達到了節(jié)能減排降耗的綠色生產效果。
當前和今后一段時期是我國集成電路產業(yè)發(fā)展的重要戰(zhàn)略機遇期和攻堅期。對此,黃河上游水電開發(fā)有限責任公司總經(jīng)理魏顯貴表示,公司將繼續(xù)致力于核心技術研發(fā)和質量提升,以創(chuàng)新驅動引領未來發(fā)展,努力將國內電子級多晶硅市場占有率提升至30%以上,力爭成為全國重要的集成電路材料生產基地和行業(yè)領軍企業(yè)。